Nanolitografia nel DIFILab

Presso il laboratorio DIFILab è attiva una linea di ricerca di nanofabbricazione litografica ad alta risoluzione realizzata grazie ad un innovativo strumento: il NanoFrazor.

nanofrazor scholar
Il NanoFrazor (Heidelbergh Instruments)

Il Nanofrazor permette la fabbricazione semplice e veloce di nano-strutture, anche tridimensionali, tramite litografia ‘scanning probe’ (thermal Scanning Probe Lithography , t-SPL). Una punta nanometrica riscaldabile viene sfruttata per nanostrutturare la superficie e, allo stesso tempo, agisce da sensore in grado di monitorare l’evoluzione di complesse nanostrutture con risoluzione su scala nanometrica.

Questo metodo innovativo apre una vasta gamma di possibilità nell’ambito delle nanotecnologie con impatto significativo in nanoelettronica, nano-ottica, nelle tecnologie quantistiche e in biologia.

Sketch della punta del NanoFrazor e immagine di una nanolitografia di film polimerico realizzata con tramite ‘thermal -Scanning Probe Lithography’ (t-SPL)
a, b) Sketch della punta del NanoFrazor e immagine di una nanolitografia di film polimerico realizzata con tramite ‘thermal -Scanning Probe Lithography’ (t-SPL).

Pubblicazioni

[1] Giordano, M.C., et al. "Deterministic Thermal Sculpting of Large‐Scale 2D Semiconductor Nanocircuits." Advanced Materials Interfaces 10, 5, 2201408 (2023). https://doi.org/10.1002/admi.202201408

Deterministic Thermal Sculpting of Large‐Scale 2D Semiconductor Nanocircuits.

[2] Ramò, L., et al. “Thermal Scanning-Probe Lithography for Broad-Band On-Demand Plasmonic Nanostructures on Transparent Substrates” ACS Applied Nano Materials (2023). https://doi.org/10.1021/acsanm.3c04398

Thermal Scanning-Probe Lithography

Highlights

G. Zambito (Physics Department, University of Genova) has been selected as one of the winners of the Heidelberg Instruments Application Image Competition 2022/2023 on Advanced Nano- and Microfabrication (3rd prize, unique prize with a NanoFrazor application).

link to the video 'Fabricating Semiconductor MoS2 Nano-Circuits'